离子束物理的知识点包括：
离子束的特性。离子束作为一种离子源产生的离子束，具有与电子束类似的加速和聚焦特性，但离子束的能量和束流强都比电子束大得多，离子种类也更多。
离子注入。离子注入技术是将含氢离子(质子)或某种元素的原子核(如碳、氮、硼等)等离子体注入到固体材料中，以取代某些原子，改变材料原有的结构和性能。离子注入具有剂量容易控制、注入深度容易调节、注入后材料的结构和性能容易测试等特点。
离子束微细加工技术。离子束微细加工技术是一种利用离子束进行材料表面处理、微小尺寸测量、微细图形加工、薄膜制备、表面改性等工艺技术的总称。
离子束分析技术。离子束分析技术是利用离子源产生的离子束对固体表面进行照射和散射，从而获得固体表面的形貌、组成及价态等信息。
此外，离子束物理的知识点还包括离子源、离子加速器、离子束沉积等。这些知识点可以帮助您了解离子束物理的基本概念和相关技术，应用于科学研究、材料科学、微电子制造、生物医学等领域。
离子束物理知识点中的例题，过滤掉的是：离子束的过滤技术。
离子束过滤技术是一种利用磁场或电场对离子束进行选择的过滤方法，以实现不同能量离子束的分离和获取特定元素的离子束的技术。通过这种方法，可以减少高能离子的数量，从而减少束流对靶材的损伤，提高束流的纯度和靶材的利用率。
题目：设计一个基于离子束过滤技术的微纳制造系统。需要考虑到系统的哪些关键因素？
回答此问题时，可以涉及到的知识点包括离子束过滤技术的工作原理、系统架构、关键部件选择和系统性能评估等。需要综合考虑各种因素，如离子源产生的离子束能量、过滤器的选择和设计、束流传输管道的材质和设计、目标表面的材料性质和加工精度要求、系统维护和操作简便性等。同时，还需要考虑系统的安全性和环保性等因素。
